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拋光片外延片 DPC DBC

序號	特征	6吋參數(shù)	5吋參數(shù)
1	外延層摻雜劑	N,N+:Antimony,Arsine,phosporus	N,N+:phosporus,Arsine
2	外延層晶向	<100>,<111>	<100>,<111>
3	外延層電阻率	0.5～120Ω?cm	0.5～120Ω?cm
4	外延層電阻率中心值偏差	≤±2%	≤±2%
5	外延層電阻率均勻性	≤±3%	≤±3%
6	外延層厚度	3～150μm	3-150μm
7	外延層厚度中心層偏差	≤±1%	≤±1%
8	外延層厚度均勻性	≤±3%	≤±3%
9	翹曲度/彎度	-60～60	-50～50
10	總厚度變化	≤18	≤10
11	堆垛層錯(cuò)	≤5/cm2	≤5/cm2
12	滑移線	＜5條，同時(shí)總長度≤硅片直徑的1/2	＜5條，同時(shí)總長度≤硅片直徑的1/2
13	霧	NONE	NONE
14	劃傷	NONE	NONE
15	凹坑、桔皮、裂紋、鴉爪	NONE	NONE
16	崩邊	NONE	NONE
17	異物	NONE	NONE
18	背面沾污	NONE	NONE
19	點(diǎn)缺陷	NONE	NONE